等離子體基低能離子注入技術的研究與發(fā)展

作 者： 雷明凱   作者單位：   刊 名： 真空科學與技術學報  ISTIC EI PKU 英文刊名： VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY  年，卷(期)： 1999 19(4)  分類號：   關鍵詞：  

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